анизотропное травление

анизотропное травление

 

анизотропное травление
 Травление, при котором скорость травления в направлении, перпендикулярном к поверхности, много выше, чем в направлении, параллельном поверхности; при этом не происходит никакого подтравливания, то есть минимизирована поперечная деформация структуры; необходимо для определения очень плотноупакованных геометрий.
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]

Тематики

  • полупроводниковые приборы

EN

  • anisotropic etch


Справочник технического переводчика. – Интент. 2009-2013.

Игры ⚽ Нужно решить контрольную?

Смотреть что такое "анизотропное травление" в других словарях:

  • анизотропное травление — anizotropinis ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. anisotropic etching vok. anisotropes Ätzen, n rus. анизотропное травление, n pranc. décapage anisotrope, m …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • вертикальное анизотропное травление — stačiasis anizotropinis ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. vertical anisotropic etching vok. vertikales anisotropes Ätzen, n rus. вертикальное анизотропное травление, n pranc. décapage vertical anisotrope, m …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • физическое травление — Травление распылением; процесс травления через физические взаимодействия (передача момента) между ускоряемыми ионами химически инертных веществ (например, Ar) и протравливаемым твердым телом; анизотропное, неизбирательное.… …   Справочник технического переводчика

  • Планарная технология — совокупность технологических операций, используемая при изготовлении планарных (плоских, поверхностных) полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Содержание 1 Принципы технологии 2 Основные технолог …   Википедия

  • anisotropes Ätzen — anizotropinis ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. anisotropic etching vok. anisotropes Ätzen, n rus. анизотропное травление, n pranc. décapage anisotrope, m …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • anisotropic etching — anizotropinis ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. anisotropic etching vok. anisotropes Ätzen, n rus. анизотропное травление, n pranc. décapage anisotrope, m …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • anizotropinis ėsdinimas — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. anisotropic etching vok. anisotropes Ätzen, n rus. анизотропное травление, n pranc. décapage anisotrope, m …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • décapage anisotrope — anizotropinis ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. anisotropic etching vok. anisotropes Ätzen, n rus. анизотропное травление, n pranc. décapage anisotrope, m …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • décapage vertical anisotrope — stačiasis anizotropinis ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. vertical anisotropic etching vok. vertikales anisotropes Ätzen, n rus. вертикальное анизотропное травление, n pranc. décapage vertical anisotrope, m …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • stačiasis anizotropinis ėsdinimas — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. vertical anisotropic etching vok. vertikales anisotropes Ätzen, n rus. вертикальное анизотропное травление, n pranc. décapage vertical anisotrope, m …   Radioelektronikos terminų žodynas


Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
… Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»